WE UNDERSTAND E-BEAM. 以前沿技术为核心的电子束光刻技术

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我们想说的话/请翻译:

欢迎使用Vistec电子束光刻技术! 

来自德国的Vistec电子束有限公司是一家全球电子束光刻系统供货商。这些系统用于半导体工业、微米和纳米光学以及微米和纳米制图的各种应用范围之高级研究。

Vistec的光刻系统是以可变形状光束(VSB)原理为主,其中使用强度均匀分布的可变形状和尺寸的电子束在基材上光刻於含光阻图案(也称为曝光或写入)。此外可使用更复杂的电子束形状即客制固定形状进行曝光,特别是使用这些技术能加快电子束的写入速度。

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